◇  自動化的晶圓處理和分類系統（例如：盒到盒）。

◇  晶體取向和(he)電(dian)阻(zu)率測(ce)量 

◇  晶(jing)片的(de)幾何特征(zheng)（缺(que)口(kou)(kou)位(wei)置(zhi)、缺(que)口(kou)(kou)深度、缺(que)口(kou)(kou)開口(kou)(kou)角(jiao)度、直徑、平面位(wei)置(zhi)和(he)平面長度）的(de)光學測(ce)定 

◇  未拋光(guang)的(de)晶圓和鏡面的(de)距(ju)離(li)測(ce)量 

◇  MES和(he)/或SECS/GEM接口(kou)

晶圓x射線晶體定向儀分揀系統Wafer XRD的Omega-scan方法：

◇  高的精度 

◇  測量速度： < 5秒/樣(yang)品 

◇  易(yi)于集成到工(gong)藝(yi)線中 

◇  典型(xing)的標準(zhun)偏差傾(qing)斜度(du)（例如：Si 100）：   < 0.003 °，小于< 0.001 °。

全自動(dong)化的晶圓(yuan)分揀和處理(li)系統

Freiberg Instruments的單晶XRD定向儀
主要里程碑：        

◆  1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團亞(ya)瑟(se)·布拉達切克和他的(de)兒子漢斯·布拉達切克創立(li)。

◆  1969 - 研(yan)制了(le)世界上(shang)基于集成電路的x射線檢測計數(shu)裝(zhuang)置，名為 COUNTIX 130。

◆  1989 - 開發 Omega-Scan 方法

BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測量系統 -    振蕩器產量從 50% 提高到 95%

◆  2005 - 將 Omega 轉移(yi)到其(qi)他材料，如SiC、藍寶石、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫合金

◆&nbsp; 2010 - 推出用(yong)于晶體取向測量的臺式 X 射線衍射儀 ( DDCOM ) 

全球(qiu)售出 約 150臺石英分選系(xi)統

◆  2015 - X 射(she)線技術(shu)和 EFG GmbH 合并到(dao) Freiberg Instruments GmbH        

傳承60年德國工(gong)匠精(jing)神-三代X射線工(gong)程師(shi)