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電(dian)阻(zu)率測試儀（RESmap ）在對低電(dian)阻(zu)率晶錠和(he)晶圓(yuan)進行(xing)非接(jie)觸式(shi)(shi)測量方式(shi)(shi)上擁有非常重要(yao)的(de)重復性 Si | Ge | 化合物(wu)(wu)半導體 | 寬帶隙 | 材料 | 金屬 | 導電(dian) | 氧化物(wu)(wu)和(he)氮(dan)化物(wu)(wu)[ Ge | Si | SiC | InP | GaAs | GaN | InAs以及更(geng)多(duo)]