MDPlinescan在線少子壽命測試儀在眾多(duo)的(de)(de)少(shao)(shao)子(zi)(zi)(zi)壽命測(ce)(ce)(ce)量方(fang)法中，MDP（微(wei)波檢(jian)測(ce)(ce)(ce)光電導(dao)率(lv)）采用改進(jin)的(de)(de)少(shao)(shao)子(zi)(zi)(zi)壽命檢(jian)測(ce)(ce)(ce)技術，是(shi)微(wei)波檢(jian)測(ce)(ce)(ce)光電導(dao)衰減(jian)法檢(jian)測(ce)(ce)(ce)儀中常用的(de)(de)儀器之一，少(shao)(shao)子(zi)(zi)(zi)壽命測(ce)(ce)(ce)試(shi)儀原理從載(zai)流(liu)子(zi)(zi)(zi)輸運原理出發，建立廣義速(su)(su)率(lv)方(fang)程和偏微(wei)分(fen)方(fang)程系統。擁有(you)先進(jin)的(de)(de)靈敏度(du)和分(fen)辨率(lv)，很大程度(du)提升在線檢(jian)測(ce)(ce)(ce)的(de)(de)速(su)(su)度(du)和質量，快(kuai)速(su)(su)出具少(shao)(shao)子(zi)(zi)(zi)壽命測(ce)(ce)(ce)試(shi)的(de)(de)實驗報告。
       

MDPlinescan被設計成一(yi)個易(yi)于集成的(de)OEM設備，可以集成到(dao)各種自(zi)動化檢測線(xian)。關鍵的(de)是在(zai)傳送過程中進行少子壽命(ming)掃描。樣品(pin)通常(chang)由(you)測量頭下面的(de)傳送帶(dai)或機器人系(xi)統攜帶(dai)。應(ying)用實(shi)例包(bao)括(kuo)從晶(jing)(jing)磚到(dao)晶(jing)(jing)圓檢測，單晶(jing)(jing)少子壽命(ming)測試、多(duo)晶(jing)(jing)少子壽命(ming)測試，每塊晶(jing)(jing)圓的(de)測量速(su)度小于一(yi)秒。電池生產線(xian)上的(de)來料質量檢查是經(jing)典的(de)通用案例，也(ye)用于鈍化和(he)擴(kuo)散后的(de)工(gong)藝質量檢查，還有(you)許多(duo)其他特殊(shu)的(de)應(ying)用的(de)可能性。易(yi)于集成，只需要以太(tai)網(wang)連接(jie)和(he)電源(yuan)。
 

MDPlinescan W       

包括一(yi)個額外的電阻率測量選項。        

MDPlinescan在線少子壽命測試儀優點：         

◇  在µ-PCD或穩態激勵條件下線掃描少數載流子壽命和電阻率是這個小型設備的重要功能；        

◇  OEM設備可以集成到多晶或(huo)單晶硅(gui)片的(de)生產(chan)線上，在(zai)不同的(de)制(zhi)備階(jie)段，直至器件、磚塊或(huo)晶錠。        

◇  小巧的尺寸和標準的自動化接口使其易于集成。重點是測量結果的長期可靠性和精確性。        

        示范性線狀掃描圖(tu)        

細節：                  

◇  允(yun)許單晶圓片調(diao)查(cha)                 

◇  不同的晶圓級有不同的配方        

◇  監控物料、工藝質量和穩定性     

技術規格: