MDPmap單晶(jing)(jing)(jing)和(he)多(duo)晶(jing)(jing)(jing)硅(gui)片(pian)壽命(ming)測(ce)量儀被設(she)計成(cheng)一個緊湊(cou)的(de)臺式(shi)非接(jie)觸電學表(biao)征工(gong)具,用于離(li)線生產(chan)控制(zhi)或研發,在(zai)穩態或短(duan)脈(mo)沖激勵(μ-PCD)下,在(zai)一個寬的(de)注(zhu)入(ru)范圍內(nei)測(ce)量參數(shu),如載(zai)流子壽命(ming)、光(guang)導率、電阻率和(he)缺(que)陷信息。自動化的(de)樣品識別和(he)參數(shu)設(she)置允(yun)許(xu)輕松適應(ying)各種(zhong)不同的(de)樣品,包括外延層(ceng)和(he)經過不同制(zhi)備階段的(de)晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan),從原生晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)到(dao)高達95%的(de)金屬(shu)化晶(jing)(jing)(jing)圓(yuan)。
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