Freiberg Instruments的單晶XRD定向儀     

主要里程碑：        

◆  1961 - EFG GmbH公司由X-ray Ing.集團亞(ya)瑟(se)·布(bu)拉達切(qie)克和(he)他的兒子漢斯·布(bu)拉達切(qie)克創(chuang)立。        

◆  1969 - 研制了世界(jie)上基于集成電(dian)路的(de)x射線(xian)檢測計數裝置(zhi)，名為(wei) COUNTIX 130。

◆  1989 - 開發 Omega-Scan 方法

BOSCH 要求提供圓形石英毛坯的定向測量系統 -    振蕩器產量從 50% 提高到 95%

◆  2005 - 將 Omega 轉移(yi)到其他材料，如SiC、藍寶石(shi)、GaN、GaAS、Si、Ni基高溫(wen)合金  

◆  2010 - 推出用于晶體取向(xiang)測量的臺式 X 射線衍射儀 ( DDCOM ) 

全球售(shou)出 約(yue) 150臺石英分選系統

◆  2015 - X 射線技(ji)術(shu)和 EFG GmbH 合(he)并到(dao) Freiberg Instruments GmbH     

傳(chuan)承60年德國工匠精(jing)神-三代X射(she)線工程師(shi)        

 Omega/Theta XRD - X射線晶體定向儀產品優勢：       

◆  采用(yong)Omega-scan掃描(miao)方法       

◆  測(ce)試速度快: 5s        

◆  測角精(jing)度高: 0.003        

◆  兼(jian)具XRD定向功能以(yi)及Flat/Norch功能        

◆  磨拋定向解決方案        

◆  擁有晶錠粘接轉移的技術（堆垛 stacking）專為SiC工業(ye)設計，被多家SiC襯底頭部企業(ye)青睞，如：II-VI Advanced Materials, SiCrystal等，國外四(si)分之(zhi)三的碳化硅制(zhi)造(zao)商依賴(lai)Freiberg Instruments公司的晶體取向(xiang)測量(liang)技術，極大提高了(le)生產效率(lv)，提升產品質量(liang)。 

◆  Mapping 面掃(sao)功能，搖擺(bai)曲(qu)線測定         

◆  易(yi)于集成到(dao)工藝(yi)線中        

◆  MES和/或SECS/GEM接(jie)口        

◆  傾斜(xie)的典(dian)型標準(zhun)偏差（例如：Si 100）：< 0.003 °，小(xiao)于(yu)< 0.001 °        

Omega/Theta X射線衍射儀是一(yi)個全自動的(de)垂(chui)直三軸(zhou)衍射儀，用(yong)于使用(yong)Omega-Scan和(he)Theta-Scan方法(fa)對各(ge)種晶體進(jin)行(xing)取向(xiang)測(ce)定和(he)搖擺曲線測(ce)量。大(da)而寬(kuan)敞的(de)設(she)計可(ke)以容納長度達450毫(hao)米(mi)、重量達30公斤的(de)樣品和(he)樣品架。        

傾斜角可(ke)以(yi)(yi)以(yi)(yi)非常高的精(jing)度確(que)定；使(shi)用Theta掃描可(ke)以(yi)(yi)達(da)到0.001°。對于(yu)所有其他晶(jing)體方向(xiang)，精(jing)度取(qu)決于(yu)與表面垂直的角差(cha)。        

該(gai)系(xi)統是模(mo)塊化的，已經配備了許(xu)多(duo)不(bu)同的擴展，用于特殊的目的，如形狀(zhuang)或(huo)平面(mian)的確定、繪圖和不(bu)同的樣(yang)品架(jia)。樣(yang)品的傾(qing)斜(xie)是通(tong)過光(guang)學(xue)測量(liang)檢測出(chu)來的，并可用于校正所產(chan)生的方(fang)向。        

Omega/Theta XRD - X射線晶體定向儀：        

◆  全自動(dong)完整的單晶體晶格取向測量        

◆  使用歐米茄掃描法進行超快速的晶體取向測量        

◆  自動(dong)搖動(dong)曲線(xian)測量功能        

◆  衍射儀的(de)角度分辨(bian)率：0.1角秒。        

◆  樣品尺寸(cun)可達450毫米        

◆  適用于生(sheng)產質量(liang)控制和研究        

 用戶友好，成本效益高：        

◆  方(fang)便的樣品處(chu)理，易(yi)于操(cao)作        

◆  先進的、用戶友好(hao)的軟件        

◆  能源消耗和運行成本低(di)        

◆  模塊(kuai)化設(she)計，靈活性強(qiang)        

◆  各種升(sheng)級選項(xiang)        

◆  根(gen)據用(yong)戶的要求進(jin)行定制        

選配功能：        

◆  自動Mapping面掃功能        

◆  Omega/Theta – 晶錠粘(zhan)接(jie)轉移的(de)技術（堆垛 stacking）        

◆  Omega/Theta - 搖擺曲線測量        

◆  Omega/Theta - 定制的樣(yang)品臺        

◆  用于(yu)樣品形狀(zhuang)測量的激光掃描儀        

◆  光學檢(jian)測，用于(yu)平(ping)面和(he)凹槽檢(jian)測        

◆  額外的樣品(pin)旋轉軸(zhou)用于3D繪圖        

◆  二級通道(dao)切割(ge)準直器(qi)（分析器(qi)）        

◆  用(yong)于樣(yang)品(pin)調整的設(she)備