?產品(pin)介紹

德國Freiberg Instruments（弗萊貝格儀器）公司的Omega/Theta XRD（X射線單晶定向儀-Omega掃描）主要針對半導體晶體材料和光學材料生產研發，該儀器采用先進的Omega掃描方法測定晶體結構并檢測單晶取向，具有成熟的單晶X射線衍射儀（XRD）技術，且可集成至全自動生產線中，是一臺可測大直徑的全自動晶圓和鑄錠定向檢測分揀設備。

?技術特點

 --全(quan)自動的垂直(zhi)三(san)軸衍射(she)儀，使用Omega掃(sao)描和(he)Theta掃(sao)描方法(fa)以及搖擺(bai)曲(qu)線測定各種晶體的方向。配備可容納長達450毫(hao)米和(he)30公(gong)斤的樣品及樣品架；

 --自動(dong)化測量(liang)，并通過定制(zhi)軟件進行訪問。利用(yong)Omega掃(sao)描，可在晶體旋轉(5秒)中確定完整的晶格方向。Theta掃(sao)描更加靈活，但每次掃(sao)描只產生一(yi)個方向分量(liang)；

 --準確(que)地確(que)定傾斜角度，Theta掃描精度達到0.001°；

 --模塊化系統，并(bing)配備了多(duo)功能(neng)需求(qiu)擴展。

?行業應用

具有多種幾何形狀和大小的樣品 

根據材料和(he)產量的(de)不同，晶體樣(yang)品可(ke)以表現出多種尺寸(cun)和(he)幾(ji)何形狀。Omega/Theta X射線衍射儀（X射線單晶定向儀-Omega掃描）可以(yi)處理大(da)塊鋼錠或鋼球(qiu)和(he)實(shi)驗合成的微小晶(jing)體。

非線性光學材料(NLO)：晶體質量和定向 

與(yu)典型的(de)(de)(de)無(wu)機金屬、半導體(ti)和(he)絕緣體(ti)相比，NLO材料(liao)具有更復雜的(de)(de)(de)晶(jing)體(ti)結構(gou)和(he)更低(di)的(de)(de)(de)對(dui)(dui)稱性。這些晶(jing)體(ti)通(tong)常被切(qie)割成尺寸(cun)在毫(hao)米(mi)范圍內的(de)(de)(de)小棒，而對(dui)(dui)這種小晶(jing)體(ti)的(de)(de)(de)表(biao)面質量測定(ding)常常可(ke)以揭示晶(jing)體(ti)內部的(de)(de)(de)結構(gou)缺陷和(he)裂紋(wen)。通(tong)過對(dui)(dui)Omega/Theta的(de)(de)(de)設(she)計進行的(de)(de)(de)一些特殊的(de)(de)(de)修改(gai)，我們的(de)(de)(de)定(ding)向儀能(neng)夠(gou)確定(ding)許(xu)多(duo)NLO材料(liao)，如LBO, BBO和(he)TeO2的(de)(de)(de)的(de)(de)(de)晶(jing)向。

平面方向的標記和測量 

Omega掃描能(neng)夠在一(yi)次測量中確定完整的(de)晶體(ti)方(fang)位(wei)。因此(ci)，平面方(fang)向(xiang)可(ke)以直接識別。這是一(yi)個(ge)有用(yong)的(de)功能(neng)，以標記(ji)在平面方(fang)向(xiang)或檢查方(fang)向(xiang)的(de)單位(wei)或缺(que)口。

搖擺曲線:晶體表面評價 

搖擺曲線(xian)(xian)測(ce)量對晶(jing)格內的缺陷(xian)和應變場很敏感。將(jiang)這種技術(shu)與(yu)映(ying)射(she)階段相結合(he)，可(ke)以(yi)掃描晶(jing)體表面并確定(ding)缺陷(xian)區(qu)域。通過裝備一(yi)個具有映(ying)射(she)階段和雙晶(jing)體的Omega/Theta衍射(she)儀，可(ke)以(yi)直接測(ce)量晶(jing)體表面某一(yi)反(fan)射(she)的搖擺曲線(xian)(xian)映(ying)射(she)。

如下圖顯示的(de)結果(guo)，這(zhe)種(zhong)映射的(de)碳化硅晶圓片的(de)內部呈現出兩(liang)到三倍于搖擺曲線的(de)FWHM。這(zhe)可能與表面劃痕或生長缺(que)陷有(you)關。