弗萊貝格Omega/Theta X射線衍射儀-單晶硅定向儀能提供自動的晶格定位和樣品校準的在線解決方案，我們專注于超高速和準確的 Omega掃描方法，可在幾秒鐘內確定完整的晶體取向。可添加二維(X-Y)或三維掃描，全自動化的搖擺曲線測量，使得XRD單晶定向儀成為單晶制造商質量控制環節中一個重要組成部分。

?應用范圍

作(zuo)為快速(su)、簡單(dan)、可靠的X射線單(dan)晶定向儀，弗萊(lai)貝格(ge)Omega/Theta Omega/Theta X射線衍射儀-單晶硅定向儀被廣泛應用(yong)于工業生產的質(zhi)量控(kong)制、材料(liao)研發(fa)等領域，主要(yao)用(yong)于超高速晶體定向和搖擺曲線(xian)的測(ce)量。

?應用技術

• 可(ke)用于生產的立式(shi)XRD
• 轉移技(ji)術：可高效(xiao)率進(jin)行多個(ge)鑄(zhu)錠同(tong)時(shi)定向(xiang)（堆(dui)疊(die)）
• 同時測定（Si、Ge、BBO、YAG、SiC、GaN、藍寶石、渦輪(lun)葉片等200多種晶體材料）幾乎所有晶體方向(xiang)取向(xiang)。
• 快速測量晶體取(qu)向(xiang)，測量時間(jian)僅需5秒(miao)，精度：0.003°
• 自動晶片分類(lei)和處理
• 搖擺曲線測量和3Dmapping繪圖 、晶(jing)圓表(biao)面翹曲度偏(pian)差檢測(ce)
• 整塊晶圓和渦輪葉片晶體取向mapping 
• 設備操作簡單、快(kuai)捷(jie)、方便，適用于各研究機構(gou)和全(quan)自動(dong)化生產線

?應用實例

案例1：

藍寶石取(qu)向 mapping、搖擺曲線測量(liang)：窄反(fan)射峰=表面質量(liang)好(hao)

案例2：

SiC 取向 mapping、搖擺曲(qu)線測(ce)量：寬反射峰=晶體(ti)表面局部干(gan)擾

案例3：

碳化硅晶圓檢測案例——晶體取向mapping

1.總傾斜偏差(cha)mapping

2.表面傾斜偏差mapping

3.垂直方向傾斜偏差mapping

4.水(shui)平傾斜(xie)偏差mapping

5.搖擺曲線mapping