應(ying)用范(fan)圍：靈(ling)活(huo)的(de)OEM設備，用于多種(zhong)不(bu)同樣品的(de)在線(xian)壽命測量(liang)：從單晶(jing)(jing)硅(gui)到(dao)(dao)多晶(jing)(jing)硅(gui)錠，從生成(cheng)態(tai)晶(jing)(jing)圓片到(dao)(dao)不(bu)同鍍(du)層或(huo)金屬化晶(jing)(jing)圓的(de)過程控制。標(biao)準軟件接口(kou)，易于連接到(dao)(dao)許多處理(li)或(huo)自動化系統。

在線面掃和單(dan)點檢測(ce)

MDPlinescan是(shi)一(yi)個(ge)易(yi)于集成(cheng)的(de)OEM單元(yuan)，可(ke)集成(cheng)到(dao)各種自(zi)動化的(de)檢測(ce)線(xian)。關鍵的(de)測(ce)量參數是(shi)實時(shi)的(de)載流子壽命掃描(miao)。
樣品(pin)通常由測(ce)量(liang)頭下的(de)傳(chuan)送(song)帶或機器人(ren)系統來輸送(song)。應用實例從(cong)晶錠到(dao)晶圓的(de)檢測(ce)，每個(ge)晶圓的(de)測(ce)量(liang)速度(du)小于(yu)一秒。
電池生產線上的(de)來料質量檢查是(shi)用(yong)的(de)一種應(ying)用(yong)方(fang)向，同樣，鈍化和(he)擴散(san)后的(de)工藝(yi)質量檢查也能用(yong)到此款產品。

還有許多(duo)其他的專(zhuan)門應(ying)用(yong)可能(neng)性。由于(yu)其易于(yu)集成，只(zhi)需要以太(tai)網連接(jie)和(he)電源。                                                              
  

特性

允許單(dan)片(pian)調查
配方(fang)的基礎(chu)測量
監控材(cai)料質量、工藝(yi)的完整性和穩定性

優勢
在μ-PCD或穩態(tai)激發(fa)條件下測量少數(shu)載流子壽命(ming)和電阻率(lv)是(shi)這個工具的重(zhong)點。
用于集成(cheng)在(zai)生產線的(de)多晶或單晶硅晶圓在(zai)不(bu)同的(de)準備階段，直到設備，磚(zhuan)或錠(ding)。
小尺寸和(he)標準(zhun)的自(zi)動(dong)化接口使集成變得容易(yi)。重(zhong)點是長時間(jian)的可靠性和(he)測量(liang)結果的精度。

技術(shu)參數(shu)