MDPinline是一種用于快速定量測量載流子壽命并集成掃描功能的檢測儀。通過工廠安裝的傳送帶將晶圓片移至儀器，在不到一秒的時間內，就可以“動態”測量出晶圓圖。

優勢介紹：一(yi)秒一(yi)片!可集成在生產線上的高速晶圓載流子壽命的面掃測試，在不到一秒內就能形成單個硅片的二維圖像。

    該儀(yi)器(qi)本(ben)身不使(shi)用(yong)機械運動(dong)部件，因(yin)此在(zai)連(lian)續操作下(xia)也(ye)非常可(ke)靠。它為每個(ge)晶(jing)(jing)圓片(pian)提供完整(zheng)的(de)(de)拓撲(pu)結(jie)構(gou)，這為提高(gao)生產線(xian)的(de)(de)成本(ben)效(xiao)益和(he)效(xiao)率提供了新的(de)(de)途徑，而這些(xie)都是(shi)迄(qi)今為止*的(de)(de)。例如(ru)，在(zai)不到3個(ge)小時(shi)的(de)(de)時(shi)間內，對10000個(ge)晶(jing)(jing)圓片(pian)的(de)(de)拓撲(pu)結(jie)構(gou)進行自動(dong)統(tong)計評估(gu)，結(jie)果可(ke)以顯示(shi)出晶(jing)(jing)體生長爐的(de)(de)性(xing)能和(he)材料質量的(de)(de)各(ge)種細節。 

        實時的質量檢測可以幫助提高和優化諸如擴散和鈍化等處理步驟。在運行的生產過程中，MDPinline可以立即檢測到某個處理步驟的任何故障，從而使產品達到的性能。 

優勢介紹

◆ 在不到(dao)一(yi)(yi)秒的時間內，可對一(yi)(yi)個晶圓片進行全電特性測試。測量參數(shu)：載流(liu)子壽命(拓撲圖)、電阻率(雙(shuang)線掃(sao)描)。

◆在非常短(duan)的時間內獲(huo)得數以千計的晶圓片的統計信(xin)息可有效(xiao)地(di)幫助(zhu)晶圓廠控制過程和生(sheng)產。

◆適用于測(ce)量(liang)晶圓片的(de)材料質量(liang)，以(yi)及識別晶圓片層面(mian)的(de)結晶問(wen)題，例如在光伏行業。

◆適用于擴散過程的(de)完(wan)整性控制、鈍化效率和均勻性控制。

技術參數

其它細節

· 允許單片控制

· 參數(shu)自動設(she)置，預定義(yi)的(de)排序菜單

· 多達15個質量等(deng)級的晶(jing)圓片自動分(fen)揀

· 監控材料質量、工(gong)藝的完整性和穩(wen)定性

· 快(kuai)速提升工藝(yi)和生產線