微(wei)焦(jiao)點CT-半導體元器件X射線顯(xian)微(wei)成像系(xi)統是一種基于(yu)X射線的(de)成像技(ji)術，使用微(wei)型(xing)計算機斷層掃描(miao)技(ji)術（Micro Computed Tomography）。包括(kuo)掃描(miao)和重構兩個(ge)主要(yao)部分(fen)，Micro/Nano 表明其分(fen)辨率可達到微(wei)米/亞微(wei)米級別。
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