MDPspot少子壽命測試儀

更新時間： 2024-03-04
產品型號： MDPspot-1
簡單描述
MDPspot少子壽命測試儀低成本桌面單點測量硅片或晶磚，用于在不同制備階段表征各種不同的硅樣品，無需內置自動化。可選手動操作的z軸厚度高達156毫米的硅磚樣品，高達156毫米硅磚，結果可視化的標準軟件。

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詳(xiang)細介紹

MDPspot W

包(bao)括一個額外的電阻率(lv)測量選項(xiang)。測量硅的電阻率(lv)，可用于沒有高(gao)度調節可能性的晶圓(yuan)，或晶磚。必須預先定義(yi)這兩(liang)個選項(xiang)中的一個。

MDPspot少子壽命測試儀特點：

◇ 無接觸無破(po)壞(huai)的電學半導體特(te)性

◇ 包括(kuo)μ-PCD測量選項

◇ 對迄今(jin)為止看不見的缺陷(xian)的可視化(hua)和外延層的研究具(ju)有先進的靈敏(min)度

◇ 集成多達四(si)個激(ji)光器(qi)，用于寬的注(zhu)入水平范圍

◇ 獲取單次瞬變的原始數據以及用于特殊評估目的的地圖

技術規格:

單晶(jing)或(huo)(huo)多(duo)晶(jing)片、晶(jing)磚、電池、硅(gui)片、鈍化或(huo)(huo)擴散等不同生產(chan)步驟后的(de)晶(jing)片
樣品尺寸	50 x 50 mm2 以上到 12“ 或(huo) 210 x 210 mm2
電阻率	0.2 - 103Ω·cm
材料	晶片、晶磚、部分或加(jia)全部工的硅片、化合(he)物半導體等(deng)
測量參數	載(zai)流(liu)子(zi)壽命(ming)
尺寸	360 x 360 x 520 mm, 重量: 16 kg
電力	110/220 V, 50/60 Hz, 3 A

MDPspot少子壽命測試儀優點：

◇ 臺式裝置，用于載流子壽命的(de)單(dan)點(dian)測量，多(duo)晶硅(gui)或單(dan)晶硅(gui)在不(bu)同的(de)制備階(jie)段，從原生材料到器件。

◇ 體積小，成本低，使用方(fang)便。附帶一個基本的軟件，用于在小型PC或筆記本上進(jin)行(xing)結果(guo)可(ke)視(shi)化。

◇ 適用于硅片到磚(zhuan)，操(cao)作高度調節方(fang)便(bian)。

細節：

◇ 允許(xu)單晶圓片調查

◇ 不(bu)同的晶圓級(ji)有不(bu)同的配方

◇ 監控物料、工(gong)藝質量和(he)穩(wen)定性(xing)

附加選項：

◇ 光(guang)斑(ban)大小變化

◇ 電阻(zu)率測量(晶片(pian))

◇ 背景/偏置(zhi)光

◇ 反(fan)射測(ce)量(MDP)

◇ 軟件擴展

◇ 額外的激(ji)光器選配

MDPspot 應用：

鐵(tie)濃度(du)測(ce)定

鐵(tie)(tie)的(de)(de)(de)濃度(du)的(de)(de)(de)精確測定是(shi)非(fei)常重要的(de)(de)(de)，因(yin)為(wei)鐵(tie)(tie)是(shi)硅中豐富也是(shi)有(you)害的(de)(de)(de)缺陷之一。因(yin)此，有(you)必(bi)要盡可(ke)能準確和快速地測量鐵(tie)(tie)濃度(du)，具有(you)非(fei)常高的(de)(de)(de)分辨率(lv)且**是(shi)在線的(de)(de)(de)

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