?產品介(jie)紹(shao)

德國弗萊貝格儀器的XRD-OEM(在線X射線衍射儀--X射線單晶定向儀)，主要用于對晶體的定向以及切口/平面形狀和位置的測量。

XRD-OEM(在線X射線衍射儀--X射線單晶定向儀)可以直接集成到研磨或鋸切設備中使用，將測量過程整合到工業生產中，解決了由于加工設備和定向測量過程分開而造成的定向誤差等行業難題。

?XRD-OEM的特點

 --可以集成(cheng)任(ren)何(he)自動(dong)化或(huo)處理系統且適用于環境(研磨、鋸切(qie))

 --緊湊、標準的(de)工(gong)業(ye)接口

 --獨立定位測量，可測量平(ping)面或(huo)圓(yuan)周

 --光學等級檢測

 --解決了行(xing)業難(nan)題:

     -如果(guo)加工設備(bei)和定向(xiang)測量是分開的，那么就會因(yin)為樣品轉移

      而造成定(ding)向誤差

     -市場對(dui)于準確對(dui)齊的(de)晶圓的(de)需求(qiu)量越(yue)來(lai)越(yue)大

 --將測量過程整合到(dao)工業(ye)生產(chan)中（研磨或鋸切(qie)）

?技術參數

 --可(ke)測量材料：硅，碳化硅，砷(shen)化鎵及更多

 --樣品尺(chi)寸：鋼錠直徑450毫米

 --冷(leng)卻：空(kong)氣，低噪音

 --可能的用途：在鋸(ju)/磨/平/缺口檢測前(qian)對大型晶錠進行(xing)預(yu)對準

?應用實例

 硅錠取向:

 --磨削(xue)前對平面(mian)和缺口(kou)位置的檢測(ce)

 --樣品直徑可(ke)達(da)8 "，長度可(ke)達(da)40厘米

?XRD-OEM適配普遍的打磨設備

 無需移動(dong)樣本即可進行定向，可與(yu)打磨產線相結(jie)合直接進行在線檢測

可以直接集成到基礎機圓磨床72/856上