?產品介紹
德國弗萊貝格DDCOM(用于晶體定向測量的桌面型X射線衍射儀)主要應用于單晶的*晶格取向的確定,其采用Omega掃描方法對樣品進行超高速晶體定位測量,可以測定立方晶體的任意位置取向,該設備配置了氣冷式X射線管,操作過程無需水冷,適用于科學研究及生產質量控制。
?技術特點(dian)
--確定單晶的*晶格取(qu)向
--使用Omega掃描(miao)方法(fa)的超高速晶(jing)體定位測量
--立方晶體(ti)(ti)任(ren)意未知取(qu)向的測定
--特別(bie)設計用于(yu)點陣方(fang)向的方(fang)位設置和(he)標記
--氣冷式x射線管,無需水冷
--適合于研究和生產質量控(kong)制
所有(you)想要的晶體方向參數在5秒(miao)內一次(ci)旋轉中被捕獲(huo)
?可(ke)測量材料的例子
--立方(fang)/任(ren)意(yi)未知(zhi)方(fang)向:Si, Ge, GaAs, GaP, InP
--立方/特殊(shu)取向:Ag, Au, Ni, Pt, GaSb, InAs, InSb, AlSb, ZnTe, CdTe, SiC3C, PbS, PbTe, SnTe, MgO, LiF, MgAl2O4, SrTiO3, LaTiO3
--正方:MgF2, TiO2, SrLaAlO4
--六(liu)方/三角:SiC 2H, 4H, 6H, 15R, GaN, ZnO, LiNbO3, SiO2(石英(ying)),Al2O3(藍寶(bao)石),GaPO4, La3Ga5SiO14
--斜方晶(jing)系:Mg2SiO4 NdGaO3
--另可根(gen)據(ju)客戶的要求進一步(bu)選料(liao)
?DDCOM的應用
平面方向的標記和測(ce)量
--在晶圓片的注(zhu)入和光刻過程中(zhong),需要平面或(huo)凹槽作(zuo)為定位(wei)標記(ji)。切(qie)割過程中,晶(jing)片(pian)必須正確地對準晶(jing)圓片(pian)上易于切割的晶(jing)格面。因此,檢查平面(mian)或(huo)缺(que)口的位置至關重要(yao)。
--為(wei)了確定平面或缺(que)口的位(wei)置,就需要測量平(ping)面(mian)內(nei)的部件。由于Omega掃(sao)描(miao)法可(ke)以(yi)在一(yi)次測(ce)量(liang)中確定完(wan)整的晶體(ti)(ti)方位,基于此,便可以直接識別在(zai)平面方(fang)向或檢查方(fang)向的(de)單位或缺口。
--DDCOM(用于晶體定向測量的桌面型X射線衍射儀)通(tong)過旋(xuan)轉(zhuan)轉(zhuan)盤,可以將任何平(ping)面方向(xiang)轉(zhuan)換成用戶的特定位置。在必須定義(yi)平(ping)面方向(xiang)的情況下,這可以大(da)大(da)簡(jian)化將標記應用(yong)到特定平面(mian)方向的(de)過程(cheng)。
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